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Antriebstechnik die zum Ziel führt
mit Piezomotor

Ein FB-Tisch-Design von Nanomotion enthält Piezo-Antrieb, Kreuzkugellager und optischen Encoder. Mehrere Tische sind zu einem System konfigurierbar:
Verschiedene Verfahrlängen und Tischbreiten können zu XY, XYZ oder anderen Mehrachsanwendungen konfiguriert werden. Oder für eine rotative Bewegung ist das System mit einem Dreh-Tisch erweiterbar. Ebenso ist die Encoderauflösung und der Motortyp wählbar. Für Vakuumanwendungen ist das Piezo-System entsprechnd als Vakuumausführung zu bestellen.

Eigenschaften

Merkmale

  • kompaktes Tisch-Design mit niedriger Bauhöhe
  • Direktantrieb mit einfacher und robuster Konstruktion
  • für die optimale Positionierung befindet sich der Encoder in der Mitte
  • einfache Konfiguration für mehrere Achsen
  • Auswahlmöglichkeit bei Tischgröße, Verfahrweg und Motorleistung

Verfügbare Montage

  • XY
  • XZ mit Verbindungswinkel
  • XYZ mit Verbindungswinkel
  • Drehtisch
  • Goniometer

Encoder

  • Standardauflösung 0,1 µm
  • Optionale Auflösung: 1 µm, 0,5 µm, 50 nm, 10 nm
  • Optional Endschalter und Home-Schalter (FB050 nur Home)

Modelle

Tisch-Konfiguration

Breite [mm] Motorauswahl Verfahrweg (standard)
FB050 50 HR2 oder HR4 20 mm, 50 mm, 75 mm
FB075 75 HR4 oder HR8 40 mm, 60 mm, 100 mm, 150 mm
FB100 100 HR4 oder HR8 60 mm, 100 mm, 150 mm *
FB150 150 HR4 oder HR8 100 mm, 150 mm, 200 mm *

Leistungsspezifikation

  FB050 FB075 FB100 FB150
Geradheit / Planheit 2,5 µm/25 mm Verfahrweg 2,5 µm/25 mm Verfahrweg 2,5 µm/25 mm Verfahrweg 1,5 µm/25 mm Verfahrweg
Max. Last [kg]        
20 mm Weg 2      
40 mm Weg   5    
50 mm Weg 5      
60 mm Weg   5 10  
75 mm Weg 7      
100 mm Weg   7 12 20
150 mm Weg   10 12 25
200 mm Weg       25

Wiederholbarkeit der Position

Auflösung FB050 FB075 FB100 FB150
0,1 µm standard ±0,5 µm ±0,5 µm ±0,5 µm ±0,5 µm
10 nm optional ±50 nm ±50 nm ±50 nm ±50 nm
50 nm optional ±200 nm ±200 nm ±200 nm ±200 nm
0,5 µm optional ±2 µm ±2 µm ±2 µm ±2 µm
1,0 µm optional ±3 µm ±3 µm ±3 µm ±3 µm

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