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Antriebstechnik die zum Ziel führt
piezoelektrischer Antrieb

Ein Piezo Motor der Baureihe HR-1 bis HR-8 erreicht maximale Geschwindigkeiten von 250 mm/s. Im spannungslosen Zustand wirkt der Antrieb als Bremse. Dabei bremst der Motor mit einer Haltekraft, die fast seiner maximalen Vorschubkraft entspricht. Der Kraftbereich ist von der Anzahl der Piezoelemente abhängig. Folgende Typen stehen standardmäßig zur Auswahl:

Modelle

Piezo Motor

Antriebselemente

Vorschubskraft

HR1

1

4 N

HR2

2

8 N

HR4

4

16 N

HR8

8

32 N

Kombinationen von mehreren

Motoren möglich

max. 32 Elemente an

einer Antriebselektronik

128 N

Allgemeine Spezifikation

  • Maximale Geschwindigkeit (ohne Last) 200 bis 300 mm/s
  • Dauerkraft 320 bis 3,5 N
  • Haltekraft im Stillstand 310 bis 350 nN
  • Statische Steifheit 0,06 bis 0,09 N/µ
  • Vorlast am Tisch 1,65 bis 2,0 N
  • Kraftkonstante Kf 30,5 mN/VoH mit AB5 Regler; 40,6 mN/VoH mit AB1 Regler
  • Geschwindigkeitskonstante Kv -1,6307 Nsek/m
  • Offset: 2-3 V von 10 V (Reglerabhängig)
  • Erreichbare Auflösung besser als 50 nm

Mechanische Spezifikationen

  • Länge 13,5 mm
  • Breite 7,6 mm
  • Höhe 3,15 mm
  • Gewicht 0,55 g

Elektrische Spezifikationen

  • maximale Spannung 12 Vrms sinusförmig
  • maximaler Stromverbrauch 130 mArms
  • maximale Leistung 750 mW
  • typische Kapazität 9.5 nF/Pol

Umweltanforderungen

  • Betriebstemperatur -20 °C bis 60 °C
  • Lagerung -40 °C bis +80 °C
  • Feuchtigkeit 0 bis 80 % nicht kondesierend

Vakuum

Die vakuumtauglichen und unmagnetischen Piezo Motoren sind perfekt als Antriebe im Vakuum (z.B. Rasterelektronenmikroskop, Röntgenstrahl- und Mikrowellenanwendungen):

  • nichtmagnetisch (z.B. HRx-1-N oder DMx-1-N)
  • vakuumtauglich bis 10-7 Torr (z.B. HRx-1-V oder DMx-1-V)
  • vakuumtauglich bis 10-7 Torr und nichtmagnetisch (z.B. HRx-1-VN-l oder DMx-1-VN)
  • hochvakuumtauglich bis 10-10 Torr und nichtmagnetisch (z.B. HRx-1-U oder DMx-1-U)

Wesentliche Eigenschaften der Vakuummotoren

  • 2 Standardausführungen für den Einsatz im Vakuum: Für 10-7 Torr oder 10-10 Torr
  • 100% unmagnetische Ausführungen
  • unbegrenzter Hub
  • hohe Positioniergenauigkeit
  • großer Geschwindigkeitsbereich
  • hochdynamisch
  • hervorragende Verfahr- und Einschwingzeiten
  • kompakte Abmessungen
  • linearer- oder rotativer Direktantrieb
  • Bremsfunktion im ausgeschalteten Zustand
  • keine Aussendung von Magnetfeldern
  • keine Einwirkung durch externe Magnetfelder

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