Kapazitive Sensoren für präzise Messungen

Kunden weltweit vertrauen auf Microsense (früher ADE Technologies), wenn es um Lösungen für anspruchsvolle Wegmessungen geht. Die Messsysteme von Microsense sind patentiert und arbeiten nach dem kapazitiven Messprinzip. Die Messsysteme erlauben sehr genaue Messungen mit hoher Bandbreite und werden unter anderem bei Anwendungen wie Festplattenlaufwerken, luftgelagerte Spindeln, Präzisions-Kreuztische, optische Scheiben, Kfz-Teile und Werkzeugmaschinen eingesetzt. Mit einer Auflösung von weniger als 0,05 nm und einer nahezu unbegrenzten Lebensdauer, sind die Messsysteme von Microsense die Leistungsstärksten auf dem Markt.

Die kapazitiven Messsysteme von Microsense sind zur präzisen Positionserkennung einsetzbar – oder als Feedbacksystem in einem Regelkreis. Führende Maschinenhersteller weltweit setzen auf Microsense in Anwendungen wie Wafer-Lithografie, Autofokussierung, Nanopositionierung, Metrologie und Herstellung von Flat-Panel-Displays. Kapazitive Sensoren ermöglichen Messungen im Sub-Nanometer Bereich und liegen preislich günstiger als Laser-Interferometer. Die hochvakuum tauglichen Sensoren von Microsense sind ideal für Anwendungen wie Scanning Electron Microscope (SEM) und Focussed-Ion-Beam (FIB) Systeme.