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Kapazitive Sensoren für präzise Messungen

Berührungslose lineare kapazitive Sensoren

kapazitive Sensoren

Kunden weltweit vertrauen auf Microsense® (früher ADE Technologies), wenn es um Lösungen für anspruchsvolle Wegmessungen geht. Die kapazitiven Sensoren von Microsense sind patentiert und arbeiten nach dem kapazitiven Messprinzip. MicroSense® berührungslose kapazitive Sensoren sind ideal für lineare Messungen, lineare Positionsmessungen und lineare Abstandsmessung. Die Sensoren erlauben sehr genaue Messungen mit hoher Bandbreite und werden unter anderem bei Anwendungen wie Festplattenlaufwerken, luftgelagerte Spindeln, Präzisions-Kreuztische, optische Scheiben, Kfz-Teile und Werkzeugmaschinen eingesetzt. Mit einer Auflösung von weniger als 0,05 nm und einer nahezu unbegrenzten Lebensdauer, sind die kapazitiven Sensoren von Microsense die Leistungsstärksten auf dem Markt.

Auch als Feedbacksystem einsetzbar

Die berührungslosen kapazitiven Sensoren von Microsense sind zur präzisen Positionserkennung einsetzbar – oder als Feedbacksystem in einem Regelkreis. Führende Maschinenhersteller weltweit setzen auf Microsense in Anwendungen wie Wafer-Lithografie, Autofokussierung, Nanopositionierung, Metrologie und Herstellung von Flat-Panel-Displays. Kapazitive Sensoren ermöglichen Messungen im Sub-Nanometer Bereich und liegen preislich günstiger als Laser-Interferometer. Die hochvakuum tauglichen kapazitiven Sensoren von Microsense sind ideal für Anwendungen wie Scanning Electron Microscope (SEM) und Focussed-Ion-Beam (FIB) Systeme.

Messung der Oberfläche

  • Berührungslose kapazitive Messung
  • Leitendes, geerdetes Zielobjekt (Sensoren für nicht leitende Materialen verfügbar)
  • Messabstand von ±10 μm bis ±1000 μm (max. 25 mm möglich)
  • Messauflösung von < 1 nm bis 50 nm
  • Analog Ist-Wert-Signal von ±10 V (andere Spannungsbereiche optional)
  • Linearität 0,02 % über gesamten Messbereich (Full-Scale Range)
  • Stabilität von bis zu 1 nm pro Tag möglich
  • Messbandbreite von 10 kHz bis 100 kHz
  • Sensoren auch für UHV- bzw. nicht-magnetische Umgebungen erhältlich

Positionierung von Wafern

  • Motion control mit höchster Geschwindigkeit und höchster Präzision
  • berührungslose kapazitive Messungen im pm Bereich (Sub-Nanometer)
  • Präzisionstische
  • Messungen im Vakuum
  • Vibrationsanalyse
  • kontaktlose Messung der Dicke von Teilen
  • Focal Plane Control Applications
  • Messung von Geschwindigkeit, Beschleunigung, Flattern und Verspannung
  • kontaktlose und nicht zerstörende Messungen