Kapazitive Sensoren für präzise Messungen
Kunden weltweit vertrauen auf ADE Technologies, wenn es um Lösungen für anspruchsvolle Wegmessungen geht. Die Messsysteme von ADE sind patentiert und arbeiten nach dem kapazitiven Messprinzip. Die Messsysteme erlauben sehr genaue Messungen mit hoher Bandbreite und werden unter anderem bei Anwendungen wie Festplattenlaufwerken, luftgelagerte Spindeln, Präzisions-Kreuztische, optische Scheiben, Kfz-Teile und Werkzeugmaschinen eingesetzt. Mit einer Auflösung von weniger als 0,05 nm und einer nahezu unbegrenzten Lebensdauer, sind die Messsysteme von ADE die Leistungsstärksten auf dem Markt.
Auch als Feedbacksystem einsetzbar
Die kapazitiven Messsysteme von ADE sind zur präzisen Positionserkennung einsetzbar – oder als Feedbacksystem in einem Regelkreis. Führende Maschinenhersteller weltweit setzen auf ADE in Anwendungen wie Wafer-Lithografie, Autofokussierung, Nanopositionierung, Metrologie und Herstellung von Flat-Panel-Displays. Kapazitive Sensoren ermöglichen Messungen im Sub-Nanometer Bereich und liegen preislich günstiger als Laser-Interferometer. Die hochvakuum tauglichen Sensoren von ADE sind ideal für Anwendungen wie Scanning Electron Microscope (SEM) und Focussed-Ion-Beam (FIB) Systeme.
Features
- Berührungslose Messung
- Leitendes, geerdetes Zielobjekt (Sondersensoren für nicht leitende Materialen
- verfügbar)
- Messabstand von ±10 μm bis ±1000 μm (max. 25 mm möglich)
- Messauflösung von < 1 nm bis 50 nm
- Analog Ist-Wert-Signal von ±10 V (andere Spannungsbereiche optional)
- Linearität 0,02 % über gesamten Messbereich (Full-Scale Range)
- Stabilität von bis zu 1 nm pro Tag möglich
- Messbandbreite von 10 kHz bis 100 kHz
- Messsyteme auch für UHV- bzw. nicht-magnetische Umgebungen erhältlich
Applikationen
- Motion control mit höchster Geschwindigkeit und höchste Präzision
- Messung im pm Bereich (Sub-Nanometer)
- Präzisionstische
- Messungen im Vakuum
- Vibrationsanalyse
- kontaktlose Dickenmessung
- Focal Plane Control Applications
- Analyse von Geschwindigkeit, Beschleunigung, Flattern und Verspannung
- kontaktlose und nicht zerstörende Messungen
