Tisch mit Piezo-Antrieb

FB-Tisch von Nanomotion

Ein FB-Tisch-Design von Nanomotion enthält Piezo-Antrieb, Kreuzkugellager und optischen Encoder. Mehrere Tische sind zu einem System konfigurierbar:
Verschiedene Verfahrlängen und Tischbreiten können zu XY, XYZ oder anderen Mehrachsanwendungen konfiguriert werden. Oder für eine rotative Bewegung ist das System mit einem Dreh-Tisch erweiterbar. Ebenso ist die Encoderauflösung und der Motortyp wählbar. Für Vakuumanwendungen ist das Piezo-System entsprechnd als Vakuumausführung zu bestellen.

Übersicht Beschreibung Beispiele

Tisch-Konfiguration

	Breite [mm]	Motor-auswahl	Verfahrweg (standard)
FB050	50	HR2 oder HR4	20 mm, 50 mm, 75 mm
FB075	75	HR4 oder HR8	40 mm, 60 mm, 100 mm, 150 mm
FB100	100	HR4 oder HR8	60 mm, 100 mm, 150 mm *
FB150	150	HR4 oder HR8	100 mm, 150 mm, 200 mm *

Leistungsspezifikation

	FB050	FB075	FB100	FB150
Geradheit / Planheit	2,5 µm/25 mm Verfahrweg	2,5 µm/25 mm Verfahrweg	2,5 µm/25 mm Verfahrweg	1,5 µm/25 mm Verfahrweg
Max. Last [kg]
20 mm Weg	2
40 mm Weg		5
50 mm Weg	5
60 mm Weg		5	10
75 mm Weg	7
100 mm Weg		7	12	20
150 mm Weg		10	12	25
200 mm Weg				25

Wiederholbarkeit der Position

Auflösung	FB050	FB075	FB100	FB150
0,1 µm standard	±0,5 µm	±0,5 µm	±0,5 µm	±0,5 µm
10 nm optional	±50 nm	±50 nm	±50 nm	±50 nm
50 nm optional	±200 nm	±200 nm	±200 nm	±200 nm
0,5 µm optional	±2 µm	±2 µm	±2 µm	±2 µm
1,0 µm optional	±3 µm	±3 µm	±3 µm	±3 µm